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东莞 茶山镇主营业务:
光学研发加工/仪器仪表/二手进口机械(镀膜机/双面抛光机/研磨机/冷加工磨边机)经营模式:
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详细描述
高精密半导体专用双面抛光机/平面研磨机16B-5P是一款专为硬脆材料设计的超精密加工设备,其核心特性与应用如下: 核心特性 超高精度加工 平面度控制达 &;,表面粗糙度 &;(镜面级抛光),满足半导体硅片、蓝宝石晶圆等材料的纳米级精度要求 。 支持超薄片加工,最小厚度可至 &以下) 。
多电机独立驱动系统 &% 。 采用斜齿轮传动或箱式蜗轮蜗杆结构,提升运行平稳性 。 智能控制与安全保障 &) 。
配备油压悬浮导轨修盘系统、缓降气缸及断电/断气安全锁紧机构,防止工件破损 。 工艺适配性 游星轮正反转功能优化工件自转轨迹,适配不同材料特性 。 可选配恒温冷却系统,避免高温导致的材料变形 。 典型应用领域 半导体制造:硅片、砷化镓晶圆的双面减薄与抛光 。 光学与电子元件:蓝宝石镜片、石英晶体、陶瓷基板(氮化铝等)的高精度平面加工 ,硬质材料处理&>
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